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真空等離子清洗機(jī) /

 SAT 520Pro 真空等離子(Plasma)

SAT 520Pro 真空等離子(Plasma)真空等離子清洗機(jī)

  • SAT 520Pro是一款高頻(13.56Mhz)、內(nèi)置兩路質(zhì)量流量計(jì)(MFC),艙體直徑:155mm,適用6寸晶圓以下尺寸的樣品的高配置、高品質(zhì)、高性價(jià)比等離子清洗機(jī)。
產(chǎn)品詳細(xì)

SAT 520Pro等離子清洗機(jī)(Plasma)

 應(yīng)用領(lǐng)域:適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.            

主要應(yīng)用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物  8.疏水實(shí)驗(yàn)  9.沉積實(shí)驗(yàn)  10.形成新的基團(tuán)  11.鍍膜前處理等

主要特點(diǎn):

1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù).

2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開門結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).

4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內(nèi)頂部懸掛.

6.觸摸屏+內(nèi)置計(jì)算機(jī)顯示控制,手動(dòng)\自動(dòng)兩種模式任意切換.

7.程序化設(shè)計(jì),預(yù)先編輯好程序,儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).

8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng),使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團(tuán)。

9.無需任何耗材,使用成本低,無需特殊進(jìn)行維護(hù),在日常使用中保持儀器清潔即可。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

型號:SAT 520Pro

品牌:賽奧特(SAT)


※不銹鋼腔體

Φ155 mm×L255mm

※射頻頻率

13.56MHz ,配置自動(dòng)匹配器

※射頻功率

最高150W,0到150W可調(diào),精度:1瓦,

※輝光放電最低功率

最低輝光放電功率:10W

輝光放電時(shí)間設(shè)定

1秒到99分59秒

氣路設(shè)置

三氣路(兩路進(jìn)氣,一路放空)

工作氣體穩(wěn)定時(shí)間

氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào)整,可設(shè)定,范圍:0--180秒

※進(jìn)氣控制

內(nèi)置兩路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制

工作氣體

空氣\氮?dú)鈂氬氣\氮?dú)浠旌蠚鈂氬氦混合氣等均可;

也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。

進(jìn)氣壓力

空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa

真空泵

可選機(jī)械油泵或者干泵

電  源

~220V/50Hz

整機(jī)尺寸(寬*深*高)

440X490X482mm

重  量(約)

33KG


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