SAT 510 真空等離子(Plasma)真空等離子清洗機
- SAT 510是一款常用型號,艙體直徑155mm,適配6寸晶圓,觸摸屏控制,操作簡單直觀,高品質(zhì)、高性價比.
產(chǎn)品詳細(xì)
SAT 510等離子清洗機(Plasma)
應(yīng)用領(lǐng)域:適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
主要應(yīng)用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.沉積實驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
主要特點:
1.實時檢測和顯示真空度,使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開門結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).
4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內(nèi)頂部懸掛.
6.觸摸屏+內(nèi)置計算機顯示控制,手動自動兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計,預(yù)先編輯好程序,儀器自動完成實驗.
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng),使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。
9.無需任何耗材,使用成本低,無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號:SAT 510 | 品牌:賽奧特(SAT) |
※不銹鋼腔體 | Φ155 mm×L255mm |
※射頻頻率 | 40KHz |
※射頻功率 | 最高300W,0到300W可調(diào),精度:1瓦, |
※輝光放電最低功率 | 最低輝光放電功率:10W |
輝光放電時間設(shè)定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設(shè)置 | 3氣路(兩路進氣,一路放空) |
工作氣體穩(wěn)定時間 | 氣體穩(wěn)定時間:可調(diào)整,可設(shè)定,范圍:0--180秒 |
※進氣控制 | 兩路浮子流量計控制 |
工作氣體 | 空氣氮氣氬氣氮氫混合氣氬氦混合氣等均可; 也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。 |
進氣壓力 | 空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可選機械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V/50Hz |
整機尺寸(寬*深*高) | 440X490X482mm |
重 量(約) | 29KG |